Источник публикации
Документ опубликован не был
Примечание к документу
Документ утратил силу на территории Российской Федерации в связи с изданием Постановления Главного государственного санитарного врача РФ от 10.07.2020 N 19.
Название документа
"Санитарные правила для производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем"
(утв. Главным государственным санитарным врачом СССР 26.06.1990 N 5181-90)