Источник публикации
М.: ФГБУ "Институт стандартизации", 2024
Примечание к документу
Документ
введен в действие с 01.03.2025.
Название документа
"ГОСТ Р 71422-2024. Национальный стандарт Российской Федерации. Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия на основе сферического шлифа"
(утв. и введен в действие Приказом Росстандарта от 06.06.2024 N 721-ст)