Источник публикации
М.: ФГБУ "Институт стандартизации", 2024
Примечание к документу
Документ
введен в действие с 01.03.2025.
Название документа
"ГОСТ Р 71334-2024. Национальный стандарт Российской Федерации. Структуры эпитаксиальные. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире на основе инфракрасной интерференции"
(утв. и введен в действие Приказом Росстандарта от 17.04.2024 N 476-ст)