"ГОСТ 8.296-2015. Межгосударственный стандарт. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм"
(введен в действие Приказом Росстандарта от 09.04.2015 N 244-ст)

Цели, основные принципы и основной порядок проведения работ по межгосударственной стандартизации установлены ГОСТ 1.0-92 "Межгосударственная система стандартизации. Основные положения" и ГОСТ 1.2-2009 "Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударственные, правила и рекомендации по межгосударственной стандартизации. Правила разработки, принятия, применения, обновления и отмены"

1 РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием "Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы" (ФГУП "ВНИИМС")

2 ВНЕСЕН Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии

3 ПРИНЯТ Межгосударственным советом по стандартизации, метрологии и сертификации (протокол N 76-П от 27 марта 2015 г.)

За принятие стандарта проголосовали:

4 Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 9 апреля 2015 г. N 244-ст межгосударственный стандарт ГОСТ 8.296-2015 введен в действие в Российской Федерации для применения в качестве национального стандарта с 1 января 2016 г.

5 ВЗАМЕН ГОСТ 8.296-78

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

Настоящий стандарт распространяется на государственный первичный специальный эталон и государственную поверочную схему для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм (приложение А, рисунок А.1) и устанавливает назначение, состав и основные метрологические характеристики государственного первичного специального эталона единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм (далее - ГЭТ), а также порядок передачи единицы длины от ГЭТ с помощью вторичных эталонов и рабочих эталонов рабочим средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов передачи единицы.

2.1 ГЭТ предназначен для воспроизведения и хранения единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм и передачи единицы с помощью вторичных эталонов и рабочих эталонов рабочим средствам измерений с целью обеспечения единства измерений.

2.2 В основу измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм должна быть положена единица, воспроизводимая ГЭТ.

2.3 ГЭТ состоит из четырех эталонных установок:

- в диапазоне от 0,001 до 50 мкм из модернизированного сканирующего зондового микроскопа "НаноСкан-3Di";

- в диапазоне от 0,0015 до 3,0 мкм из модернизированного автоматизированного интерференционного микроскопа МИА-М1;

- в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм из модернизированного прецизионного контактного профилометра нанометрового диапазона Talystep;

- в диапазоне от 1,0 до 3000 мкм из модернизированного контактного широкодиапазонного профилометра Form TalySurf.

2.4 Диапазон воспроизводимых ГЭТ значений длины, соответствующих параметрам шероховатости Rmax, Rz, составляет от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм.

2.5 ГЭТ обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений параметров шероховатости:

- Rmax и Rz в диапазоне от 0,001 до 50 мкм; Ra - от 0,001 до 12,5 мкм со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,0002 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности , не превышающей 0,0014 мкм;

- Rmax и Rz в диапазоне от 0,0015 до 3,0 мкм; Ra - от 0,001 до 0,75 мкм со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,0002 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности , не превышающей 0,0013 мкм;

- Rmax и Rz в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм; Ra - от 0,006 до 0,025 мкм со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,0015 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности , не превышающей 0,0012 мкм;

- Rmax и Rz в диапазоне от 1 до 3000 мкм; Ra - от 0,4 до 750 мкм со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,04 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности , не превышающей 0,013 мкм.

При этом стандартная неопределенность, оцененная по типу A, u_A составляет:

- в диапазоне от 0,001 до 50 мкм - 0,2·10^-3 мкм;

- в диапазоне от 0,0015 до 3 мкм - 0,2·10^-3 мкм;

- в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм - 1,5·10^-3 мкм;

- в диапазоне от 1 до 3000 мкм - 4,0·10^-2 мкм.

Стандартная неопределенность, оцененная по типу B, u_B составляет:

- в диапазоне от 0,001 до 50 мкм - 1,4·10^-3 мкм;

- в диапазоне от 0,0015 до 3 мкм - 1,3·10^-3 мкм;

- в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм - 1,2·10^-3 мкм;

- в диапазоне от 1 до 3000 мкм - 1,3·10^-2 мкм.

Суммарная стандартная неопределенность u_C составляет:

- в диапазоне от 0,001 до 50 мкм - 1,4·10^-3 мкм;

- в диапазоне от 0,0015 до 3 мкм - 1,3·10^-3 мкм;

- в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм - 1,9·10^-3 мкм;

- в диапазоне от 1 до 3000 мкм - 4,2·10^-2 мкм.

Расширенная неопределенность U составляет:

- в диапазоне от 0,001 до 50 мкм - 4,2·10^-3 мкм;

- в диапазоне от 0,0015 до 3 мкм - 3,9·10^-3 мкм;

- в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм - 5,7·10^-3 мкм;

- в диапазоне от 1 до 3000 мкм - 12,6·10^-2 мкм.

2.6 Для обеспечения воспроизведения единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra с указанной точностью должны быть соблюдены правила хранения и применения ГЭТ, утвержденные в установленном порядке.

2.7 ГЭТ применяют для передачи единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra вторичным эталонам методом прямых измерений.

3.1 В качестве эталонов-копий используют оптические профилометры в диапазоне параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 400 мкм и Ra от 0,001 до 100 мкм.

3.2 Средние квадратические отклонения суммарной погрешности результата сличений эталонов-копий с ГЭТ при 20 независимых измерениях не должны превышать (3,3% + 0,1 нм) нм в диапазоне от 0,001 до 400 мкм.

3.3 Эталоны-копии применяют для передачи размера единицы рабочим эталонам 1-го разряда методом прямых измерений и методом сличений с помощью компаратора.

3.4 В качестве вторичных эталонов применяют наборы мер, выполненные в виде плоскопараллельных пластин с неровностями периодического профиля на рабочей поверхности в диапазоне параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 1000 мкм и Ra от 0,001 до 400 мкм.

3.5 Средние квадратические отклонения суммарной погрешности результата сличений вторичных эталонов с ГЭТ при 20 независимых измерениях не должны превышать 1% в диапазоне от 0,001 до 0,1 мкм; 0,7% в диапазоне от 0,1 до 1 мкм и от 0,35% до 0,04% в диапазоне от 1 до 1000 мкм.

3.6 Вторичные эталоны применяют для передачи размера единицы рабочим эталонам 1-го разряда методом прямых измерений и методом сличений с помощью компаратора.

4.1 Рабочие эталоны 1-го разряда

4.1.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют эталонные приборы (микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, контактные профилометры) и эталонные меры шероховатости.

4.1.2 Пределы допускаемых относительных погрешностей рабочих эталонов 1-го разряда не должны превышать 3% в диапазоне от 0,001 до 0,1 мкм, 2% в диапазоне от 0,1 до 1 мкм и составлять от 1% до 0,02% в диапазоне от 1,0 до 3000 мкм.

4.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда методом прямых измерений.

4.2 Рабочие эталоны 2-го разряда

4.2.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют эталонные приборы (микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, контактные профилометры) и эталонные меры шероховатости.

4.2.2 Пределы допускаемых относительных погрешностей рабочих эталонов 2-го разряда не должны превышать 6% в диапазоне от 0,001 до 0,1 мкм, 4% в диапазоне от 0,1 до 1 мкм и составлять от 2% до 0,08% в диапазоне от 1 до 3000 мкм.

4.2.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 3-го разряда и рабочих средств измерений методом прямых измерений.

4.3 Рабочие эталоны 3-го разряда

4.3.1 В качестве рабочих эталонов 3-го разряда применяют эталонные приборы (микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, контактные профилометры) и эталонные меры шероховатости.

4.3.2 Пределы допускаемых погрешностей рабочих эталонов 3-го разряда не должны превышать 12% в диапазоне от 0,001 до 0,1 мкм, 8% в диапазоне от 0,1 до 1 мкм и составлять от 4% до 0,2% в диапазоне от 1 до 3000 мкм.

4.3.3 Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений методом прямых измерений.

В качестве рабочих средств измерений применяют микроинтерферометры (МИИ), приборы светового (ПСС) и теневого (ПТС) сечений, контактные профилометры, бесконтактные профилометры, сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ), образцы шероховатости поверхности (сравнения) и образцовые детали.

Пределы допускаемых погрешностей рабочих средств измерений составляют от 2% до 50%.