"Изменение N 1 ГОСТ 25948-83 "Арсенид и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла"
(утв. и введено в действие Постановлением Госстандарта СССР от 22.03.1989 N 606)

Вводная часть, пункт 1.3. Заменить слова "тип проводимости" на "тип электропроводности".

Пункт 1.4. Чертеж 1 под словами "p-тип" дополнить обозначением: ; "n-тип" - обозначением .

Раздел 2 дополнить пунктами - 2.1.1, 2.1.2: "2.1.1. Измерительная установка должна быть аттестована. Основная относительная погрешность установки при контроле образцов с удельным электрическим сопротивлением не должна превышать при измерении удельного электрического сопротивления +/- 5% и коэффициента Холла +/- 8%, при контроле образцов с удельным электрическим сопротивлением не должна превышать соответственно +/- 12% и +/- 15%.

2.1.2. Допускается проведение измерений и обработка результатов с использованием средств автоматизации по алгоритмам, изложенным в настоящем стандарте, в частности использование установок типа "Холл-100", "Холл-200" при условии соблюдения требований п. 2.1.1".

Пункт 2.2.1. Таблицу 1 изложить в новой редакции:

Примечание. Измерение коэффициента Холла в арсениде галлия p-типа электропроводности с концентрацией основных носителей заряда более выполняют при значении B не менее 0,7 Тл.

Пункт 2.2.2 дополнить словами: "Погрешность регистрации электрического тока не должна превышать 1% при измерении материала с удельным электрическим сопротивлением и 3% при измерении полуизолирующего материала с удельным электрическим сопротивлением ";

таблицу 2 изложить в новой редакции:

Пункт 2.2.3 изложить в новой редакции: "2.2.3. Прибор для измерения электрического напряжения должен удовлетворять требованиям табл. 2.

Погрешность измерения электрического напряжения не должна превышать 1% при контроле материала с удельным электрическим сопротивлением и 2,5% - при контроле полуизолирующего материала с удельным электрическим сопротивлением ".

Пункт 2.2.4 после слов "должно обеспечивать" дополнить словами: "при контроле одного образца".

Пункт 2.3.3 исключить.

Пункт 3.1. Заменить слово "(черт. 3)" на "в форме квадрата (черт. 3) или произвольной формы".

Раздел 3 дополнить пунктом - 3.1.1: "3.1.1. Допускается проводить измерения на образцах в форме параллелепипеда, удовлетворяющих требованиям к образцам крестообразной формы (табл. 3)".

Пункт 3.2 дополнить словами: "(либо в форме параллелепипеда)".

Пункт 3.3. Таблица 3. Графа "Длина образца". Заменить значение > 3a на >= 0,8;

дополнить абзацем (после табл. 3): "Для пластин произвольной формы поперечный размер образца должен быть не менее 0,7 см".

Пункт 4.2 после слов "располагая их на" дополнить словами: "торцовой поверхности или";

второй абзац исключить.

Раздел 4 дополнить пунктами - 4.4, 4.4.1, 4.4.2: "4.4. Перед выполнением измерений электрофизических параметров измеряют геометрические размеры образца.

4.4.1. Толщину образца в виде плоскопараллельной пластины измеряют в трех точках одной в центре и двух на периферии пластины. Если поперечный линейный размер образца превышает 5 см, толщину образца измеряют в 5 точках одной в центре и четырех на периферии образца. За результат измерения толщины принимают среднее арифметическое полученных значений.

4.4.2. Геометрические размеры образцов крестообразной формы измеряют два раза в противоположных концах образца. За результат измерений принимают среднее арифметическое полученных значений".

Пункт 5.2.1. Заменить слова "используя одну из двух пар контактов" на "используя соседнюю по периметру образца пару контактов".

Пункт 6.1.1. Формулы 1 - 4 изложить в новой редакции

дополнить абзацем (после первого): "При вычислении значений напряжений , и коэффициентов , алгебраически учитывают знаки величин, полученных при измерениях."

Пункт 6.1.6. Заменить обозначение l на e (3 раза).

Пункт 6.2.1. Формулу 13 изложить в новой редакции

дополнить абзацем: "При определении значений , , алгебраически учитывают знаки величин, полученных при измерениях".

Пункты 6.3 - 6.9 исключить.

Раздел 6 дополнить пунктами - 6.2.5 - 6.2.10: "6.2.5. Значения удельного электрического сопротивления и концентрации основных носителей заряда в полуизолирующих материалах могут быть приведены к температуре по формулам

где K - постоянная Больцмана; ;

T - температура измерения, К;

E - энергия активации глубокого примесного центра, определяющего полуизолирующие свойства материала, эВ.

Для GaAs n-типа электропроводности E = 0,8 эВ.

Для GaP < Fe < p-типа электропроводности E = 0,7 эВ.

6.2.6. Результаты измерений представляют числом с тремя значащими цифрами с указанием порядка величины. Результаты измерений и вычислений округляют в соответствии с правилом: если первая (справа налево) из отбрасываемых цифр более или равна 5, то последнюю цифру увеличивают на 1, если менее 5, то оставшиеся цифры не изменяют.

6.2.7. Интервал, в котором находится минимальное значение суммарной погрешности измерения удельного электрического сопротивления с доверительной вероятностью P = 0,95, составляет +/- 5% для образцов с удельным электрическим сопротивлением ; +/- 12% для образцов с удельным электрическим сопротивлением .

6.2.8. Интервал, в котором находится минимальное значение суммарной погрешности измерения концентрации основных носителей заряда с доверительной вероятностью P = 0,95, составляет +/- 8% для образцов с удельным электрическим сопротивлением ; +/- 15% для образцов с удельным электрическим сопротивлением .

6.2.9. Интервал, в котором находится минимальное значение суммарной погрешности измерения подвижности основных носителей заряда с доверительной вероятностью P = 0,95, составляет +/- 8% для образцов с удельным электрическим сопротивлением ; +/- 10% для образцов с удельным электрическим сопротивлением .

6.2.10. Наличие в контролируемом образце посторонних включений, неоднородности распределения электрофизических параметров приводит к увеличению суммарной погрешности измерений, которую устанавливают при метрологической аттестации метода применительно к конкретной продукции".