"Государственная поверочная схема для средств измерений комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий"
(утв. Приказом Росстандарта от 09.09.2024 N 2154)

Настоящий документ распространяется на государственную поверочную схему для средств измерений комплексного показателя преломления (, где i - комплексная единица) и толщины оптических покрытий d, устанавливает порядок передачи единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий d от государственного первичного специального эталона ГЭТ 203-2024 при помощи рабочих эталонов средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов передачи единиц.

Графическая часть Государственной поверочной схемы для средств измерений комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий представлена в приложении А.

n - показатель преломления (действительная часть комплексного показателя преломления n по ГОСТ Р 70973-2023);

k - главный показатель поглощения (мнимая часть комплексного показателя преломления n по ГОСТ Р 70973-2023).

2.1 Государственный первичный специальный эталон единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий (далее - ГПСЭ) предназначен для воспроизведения, хранения и передачи единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий при помощи рабочих эталонов средствам измерений.

2.2 ГПСЭ состоит из комплекса следующих технических средств и вспомогательных устройств:

цифрового спектрального эллипсометра;

цифрового спектрального многоуглового эллипсометра;

мер комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий в виде подложек плоской или цилиндрической формы из различных материалов с однослойными или двухслойными покрытиями разной номинальной толщины из разных материалов, а также массивные заготовки из различных материалов - как материальных носителей единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий.

2.3 ГПСЭ обеспечивает воспроизведение единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий d с метрологическими характеристиками, указанными Таблицах 1, 2.

2.4 Для обеспечения воспроизведения единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий с указанной точностью следует соблюдать правила содержания и применения ГПСЭ, утвержденные в установленном порядке.

2.5 ГПСЭ применяют для передачи единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий рабочим эталонам методом косвенных измерений.

3.1 В качестве рабочих эталонов применяют меры комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий в виде подложек плоской или цилиндрической формы из различных материалов с однослойными или двухслойными покрытиями разной номинальной толщины из разных материалов, а также массивные заготовки из различных материалов в диапазонах:

для показателя преломления n от 0,5 до 5,0;

для главного показателя поглощения k от 0,01 до 8,00;

для толщины оптических покрытий d от 1 до 50000 нм.

3.2 Доверительные границы абсолютной погрешности рабочих эталонов при доверительной вероятности 0,95 составляют для показателя преломления , а для главного показателя поглощения .

3.3 Доверительные границы абсолютной погрешности рабочих эталонов при доверительной вероятности 0,95 для толщины оптических покрытий составляют 0,5 нм для диапазона значений d от 1 до 1000 нм.

Доверительные границы относительной погрешности рабочих эталонов при доверительной вероятности 0,95 для толщины оптических покрытий составляют 0,7% для диапазона значений d от 1000 до 50000 нм.

3.4 Рабочие эталоны применяют для поверки средств измерений методом прямых измерений.

4.1 В качестве средств измерений применяют эллипсометры, в том числе лазерные, спектральные, многоугловые и спектральные рефлектометры в диапазонах:

для показателя преломления n от 0,5 до 5,0;

для главного показателя поглощения k от 0,01 до 8,00;

для толщины оптических покрытий d от 1 до 50000 нм.

4.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей средств измерений для показателя преломления составляют от 0,004 до 0,005, а для главного показателя поглощения от 0,01 до 0,03.

Пределы допускаемых абсолютных погрешностей средств измерений толщины оптических покрытий составляют от 0,8 до 10 нм для диапазона значений d от 1 до 1000 нм.

Пределы допускаемых относительных погрешностей средств измерений толщины оптических покрытий составляют от 1 до 5% для диапазона значений d от 1000 до 50000 нм.