Основные ссылки
|
ГОСТ 5.2105-73
Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
| Обозначение: | ГОСТ 5.2105-73 |
|---|
| Статус: | действующий |
|---|
| Тип: | ГОСТ |
|---|
| Название русское: | Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции |
|---|
| Название английское: | Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products |
|---|
| Дата актуализации текста: | 06.04.2015 |
|---|
| Дата актуализации описания: | 01.01.2021 |
|---|
| Дата регистрации: | 00.00.0000 |
|---|
| Дата издания: | 04.10.1973 |
|---|
| Дата введения в действие: | 01.09.1973 |
|---|
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов |
|---|
| Расположен в: | |
|---|
Источник информации: https://internet-law.ru/gosts/gost/36930/
На эту страницу сайта можно сделать ссылку:
На правах рекламы:
|
