Основные ссылки
|
ГОСТ Р 8.640-2008
Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
| Обозначение: | ГОСТ Р 8.640-2008 |
|---|
| Статус: | действующий |
|---|
| Тип: | ГОСТ Р |
|---|
| Название русское: | Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки |
|---|
| Название английское: | State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods |
|---|
| Дата актуализации текста: | 06.04.2015 |
|---|
| Дата актуализации описания: | 01.07.2023 |
|---|
| Дата регистрации: | 00.00.0000 |
|---|
| Дата издания: | 15.05.2008 |
|---|
| Дата введения в действие: | 01.01.2009 |
|---|
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок |
|---|
| Расположен в: | |
|---|
Источник информации: https://internet-law.ru/gosts/gost/44199/
На эту страницу сайта можно сделать ссылку:
На правах рекламы:
|
