Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Обозначение:
ГОСТ 8.592-2009
Статус:
действующий
Тип:
ГОСТ
Название русское:
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Название английское:
State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Geometrical shapes, linear size and manufacturing material requirements
Дата актуализации текста:
06.04.2015
Дата актуализации описания:
01.06.2019
Дата издания:
08.06.2010
Дата введения в действие:
01.11.2010
Дата последнего изменения:
12.09.2018
Область и условия применения:
Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м.
<br> Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов