Основные ссылки

Вернуться в "Каталог ГОСТ"

ГОСТ 8.592-2009

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Обозначение:	ГОСТ 8.592-2009
Статус:	действующий
Тип:	ГОСТ
Название русское:	Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Название английское:	State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Geometrical shapes, linear size and manufacturing material requirements
Дата актуализации текста:	06.04.2015
Дата актуализации описания:	01.01.2019
Дата издания:	08.06.2010
Дата введения в действие:	01.11.2010
Дата последнего изменения:	12.09.2018
Область и условия применения:	Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м. <br> Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов
Расположен в:	Общероссийский классификатор стандартов → Метрология и измерения. Физические явления → Линейные и угловые измерения → Линейные и угловые измерения в целом Классификатор государственных стандартов → Общетехнические и организационно-методические стандарты → Государственная система измерений → Методики поверки и метрологической аттестации Тематические сборники → Государственная система обеспечения единства измерений.