Вернуться в "Каталог ГОСТ"

ГОСТ Р 8.628-2007

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Обозначение:	ГОСТ Р 8.628-2007
Статус:	действующий
Тип:	ГОСТ Р
Название русское:	Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Название английское:	State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection
Дата актуализации текста:	06.04.2015
Дата актуализации описания:	01.07.2023
Дата регистрации:	00.00.0000
Дата издания:	10.02.2011
Дата введения в действие:	01.02.2008
Область и условия применения:	Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов
Список изменений:	№1 от (рег. ) «Срок действия продлен»
Расположен в:	Общероссийский классификатор стандартов → Метрология и измерения. Физические явления → Линейные и угловые измерения → Линейные и угловые измерения в целом Классификатор государственных стандартов → Общетехнические и организационно-методические стандарты → Государственная система измерений → Методики поверки и метрологической аттестации Тематические сборники → Государственная система обеспечения единства измерений.
Приложение №0:	Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007