Основные ссылки
|
ГОСТ Р 8.659-2009
Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
| Обозначение: | ГОСТ Р 8.659-2009 |
|---|
| Статус: | действующий |
|---|
| Тип: | ГОСТ Р |
|---|
| Название русское: | Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки |
|---|
| Название английское: | State system for ensuring the uniformity of measurements Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography.Verification procedure |
|---|
| Дата актуализации текста: | 01.01.2021 |
|---|
| Дата актуализации описания: | 01.07.2023 |
|---|
| Дата регистрации: | 00.00.0000 |
|---|
| Дата издания: | 12.08.2019 |
|---|
| Дата введения в действие: | 01.01.2011 |
|---|
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок |
|---|
| Расположен в: | |
|---|
Источник информации: https://internet-law.ru/gosts/gost/63180
На эту страницу сайта можно сделать ссылку:
На правах рекламы:
|
