Основные ссылки
|
ГОСТ Р 71334-2024
Структуры эпитаксиальные. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире на основе инфракрасной интерференции
| Обозначение: | ГОСТ Р 71334-2024 |
|---|
| Статус: | принят |
|---|
| Тип: | ГОСТ Р |
|---|
| Название русское: | Структуры эпитаксиальные. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире на основе инфракрасной интерференции |
|---|
| Название английское: | Epitaxial structures. Мethod for measuring the thickness of epitaxial silicon layers in structures of the silicon-on-sapphire type based on IR interference |
|---|
| Дата актуализации текста: | 01.06.2024 |
|---|
| Дата актуализации описания: | 01.06.2024 |
|---|
| Дата регистрации: | 00.00.0000 |
|---|
| Дата издания: | 19.04.2024 |
|---|
| Дата введения в действие: | 01.03.2025 |
|---|
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на эпитаксиальные структуры, применяемые для изготовления изделий электронной компонентной базы, и устанавливает метод интерференции для измерения толщины эпитаксиальных слоев в структурах кремний на сапфире (КНС) |
|---|
| Расположен в: | |
|---|
Источник информации: https://internet-law.ru/gosts/gost/82574
На эту страницу сайта можно сделать ссылку:
На правах рекламы:
|
