| Статус: | действующий (Введен впервые) |
|---|
| Обозначение: | ГОСТ 8.591-2009 |
|---|
| Название русское: | ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки |
|---|
| Дата актуализации текста: | 17.06.2011 |
|---|
| Дата добавления в базу: | 17.06.2011 |
|---|
| Дата введения: | 2010-11-01 |
|---|
| Разработан в: | ОАО "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"
МФТИ (ГУ)
ФГУ "Российский научный центр "Курчатовский институт" |
|---|
| Утверждён в: | Ростехрегулирование (05.04.2010) |
|---|
| Опубликован в: | Стандартинформ № 2010 |
|---|
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ 8.592. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м.
Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер. |
|---|
| Оглавление: | 1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Операции и средства поверки
5 Требования к квалификации поверителей
6 Требования безопасности
7 Условия поверки и подготовка к ней
8 Проведение поверки
9 Обработка результатов измерений
10 Оформление результатов поверки
Приложение А (справочное) Вычисление показателя преломления воздуха
Библиография |
|---|
| Ключевые слова: | методика поверки сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов лазерный интерферометр |
|---|
| Расположен в: | |
|---|
